编者按:2021年年中,我粗浅的梳理了中国EUV光刻机的研发情况。这一年国际形势巨变,而西方对中国的光刻机制裁依然没有解除的迹象,而这一年中国的光刻机研发又出现了什么新的景象呢?长春光机所,是最被国人瞩目的光刻机研发单位。今天的故事仍然从这里开始。
长春光机所的产业群长春光机所是国内较为活跃的高科技企业孵化单位,其下属的长光产业共有核心企业70余家,其中上市公司1家,行业涵盖核心元器件、新材料与应用、高端装备制造、超高清成像与显示、激光技术与应用、生命与健康和航空航天等多个领域。
长光集团
其中,公众最为熟悉的恐怕当属成立于2018年的北京国望光学科技有限公司,它的产业化继承了长春光机所02专项的DUV光刻机曝光光学系统。
长光集团下属企业
长光集智光学科技有限公司:国有控股2021年12月30日,长光集团迎来了一家新企业:长光集智光学科技有限公司。
长光集智光学注册资本30亿元人民币,其大股东为深圳市新凯来技术有限公司,持股60%;第二大股东便是中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,持股20%;第三大股东是金春水,持股7%。
经过核查,深圳市新凯来技术有限公司为深圳市深芯恒科技投资有限公司100%持股企业;而后者又是隶属于深圳国资委的深圳市重大产业投资集团有限公司100%持股的企业。
所以长光集智光学是一家国有控股企业。
长光集智光学的股东隶属关系图
长光集智光学科技有限公司:ZETOP打开这家新创办半年的企业官网,其主要信息还没有更新,唯一有参考价值的信息是招聘信息。
长光集智光学主页
从长光集智光学的招聘信息可以看到,其招聘岗位包括光学设计、光学元件检测、光学系统、系统检测&集成、光学加工、光学薄膜、光机结构、仿真分析、软件开发、机电控制等10个方向。
长光集智光学的招聘信息(部分)
长光集智光学科技有限公司:金春水作为长光集智光学科技有限公司的最大自然人股东,金春水教授出现在中科院《2017年02专项“极紫外光刻关键技术研究”通过验收》的通讯稿里。这篇著名的、在过去5年里被无数人转载的通讯稿里是这样描述金春水教授的工作:
2017年中科院主页的通讯稿
金春水率领的长春光机所项目研究团队秉承锲而不舍的科研精神,潜心钻研,厚积薄发,历经八年的艰苦奋战,突破了制约我国极紫外光刻发展的超高精度非球面加工与检测、极紫外多层膜、投影物镜系统集成测试等核心单元技术,成功研制了波像差优于0.75 nm RMS 的两镜EUV 光刻物镜系统,构建了EUV 光刻曝光装置,在国内首次获得EUV 投影光刻32 nm 线宽的光刻胶曝光图形。
金春水说:“我们建立了较为完善的曝光光学系统关键技术研发平台,圆满完成国家重大专项部署的研究内容与任务目标,实现EUV 光学成像技术跨越,显著提升了我国极紫外光刻核心光学技术水平。”
没错,2021年底成立的长光集智光学科技有限公司便是囊括了中国集10年于一役的02专项极紫外光刻研究的领军人物及其团队。
关于金春水教授和他的EUV研发情况,请参考前文:
解读国产光刻机困局(四):长春光机所的EUV光刻机?
长光集智光学科技有限公司:团队在长光集智光学科技有限公司股东名单里,我们看到一共有18位自然人股东,共持股20%。除了金春水教授外,王丽萍、于杰、王辉等都是金春水教授的学生,其中前十的成员持股均在1%以上。我认为这是对科研团队最好的奖励。
长光集智光学科技的自然人股东
我们也可以看到这个团队成员几乎都有02专项极紫外光刻项目研究时发表的专利。技术团队很大可能是根据这些专利估值作为技术入股的。
长光集智光学科技的自然人股东专利列表(部分)
结语国家队出手,攻关队伍整装待进。
那么,集国人万千关注于一身的长光集智光学能实现中国的EUV光刻机光学系统的突破吗?他们已经具备什么样的软硬件条件,目前还有何欠缺,以及将能达到怎样的高度?
我们下次见!
参考资料长光集团:http://www.ciomp-cggc.com
长光集智光学科技有限公司:http://www.zetop.com.cn
2017年中科院02专项验收通讯稿:https://www.cas.cn/cm/201707/t20170710_4607967.shtml
2017年长春光机所02专项验收通讯稿:http://www.ciomp.cas.cn/xwdt/mtcg/201707/t20170711_4830235.html
金春水教授主页:https://people.ucas.ac.cn/~jinchunshui
长春光机所考研难度(长春光机所一个月能挣多少钱)
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